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柔性衬底上GaN薄膜的生长机制、物性及应用前景研究

一、引言

1.1研究背景与意义

在半导体材料的璀璨星空中，氮化镓（GaN）薄膜宛如一颗耀眼的新星，占据着极为重要的地位。自20世纪90年代以来，GaN外延生长和掺杂技术取得重大突破，其凭借着诸多优异特性，在光电子、微电子等领域掀起了一场技术革新的浪潮。

从光电子领域来看，基于GaN薄膜制成的发光二极管（LED），开启了照明领域的新篇章。相较于传统的照明光源，GaN基LED具有节能、环保、寿命长等显著优势，如今已广泛应用于通用照明、汽车照明、显示屏背光源等多个方面。在蓝光和紫光发射器件方面，GaN更是展现出独特的优势，其