CN119604642A 蒸发源、材料沉积设备和在基板上沉积材料的方法 （应用材料公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119604642A

(43)申请公布日2025.03.11

(21)申请号202280098675.7

(22)申请日2022.07.26

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.01.26

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/EP2022/0709472022.07.26

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/022579EN2024.02.01

(71)申请人应用材料公司

地址美国加利福尼亚州

(72)发明人斯蒂芬·班格特

(74)专利代理机构北京律诚同业知识产权代理

有限公司11006

专利代理师徐金国吴启超

(51)Int.Cl.

C23C14/56(2006.01)

C23C14/24(2006.01)

权利要求书2页说明书8页附图4页

(54)发明名称

蒸发源、材料沉积设备和在基板上沉积材料

的方法

(57)摘要

CN119604642AmeltingTevap（Tmelting≤TdTevap）。本文描述了一种用于在基板（10）上沉积材料的蒸发源（100）。所述蒸发源（100）包括用于蒸发材料的坩埚（110）。此外，所述蒸发源（100）包括与坩埚（110）流体连通的分配器（120）。分配器（120）包括温度控制系