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微型传感器原理与设计探析

目录

内容概览．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

微型传感器概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

2.1微型传感器定义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

2.2微型传感器分类．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

2.3微型传感器的应用范围．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

微型传感器的工作原理．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

3.1物理效应型传感器．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

3.2化学效应型传感器．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15

3.3声学效应型传感器．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．19

微型传感器的设计要素．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22

4.1结构设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．22

4.2电路设计