CN119604769A 分析计量数据的方法 （布鲁克纳米公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119604769A

(43)申请公布日2025.03.11

(21)申请号202380056705.2

(22)申请日2023.06.13

(30)优先权数据

63/352,1202022.06.14US

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.01.24

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/US2023/0251282023.06.13

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2023/244564EN2023.12.21

(71)申请人布鲁克纳米公司地址美国加利福尼亚州

(72)发明人弗拉基米尔·福诺贝罗夫肖恩·汉德大卫·法伊

(74)专利代理机构北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)11201

专利代理师宋融冰

(51)Int.Cl.

G01Q60/24(2006.01)

G01Q10/06(2006.01)

G01Q20/02(2006.01)

权利要求书2页说明书7页附图5页

(54)发明名称

分析计量数据的方法

(57)摘要

CN119604769A优选实施例涉及一种计量方法，所述计量方法，例如，用于半导体制造中的凹陷分析，所述方法包括使用具有2D周期性特征阵列的样本的原子力显微镜(AFM)数据来生成样本图像，并且计