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纳米制程技术精度优化与应用

目录

一、文档概览．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

1.2国内外发展现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．4

1.3主要研究内容与目标．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6

1.4技术路线与方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

二、纳米尺度加工基础理论．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

2.1微纳尺度物理化学特性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

2.2纳米结构特征与形成机制．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．13

2.3关键精度指标与评价体系．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16

三、纳米加工工艺方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21

3.1掺杂生长与外延生长技术．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21

3.2光刻与基于电子束的