CN119609384A 一种钙钛矿薄膜的飞秒激光刻蚀方法及系统 （杭州鼎能光电科技有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119609384A

(43)申请公布日2025.03.14

(21)申请号202510157082.9

(22)申请日2025.02.13

(71)申请人杭州鼎能光电科技有限公司

地址310000浙江省杭州市余杭区仁和街

道仁河大道516号1幢1层105室

(72)发明人郭家俊徐灵炜

(74)专利代理机构杭州杭奕专利代理事务所(普通合伙)33535

专利代理师张常胜

(51)Int.Cl.

B23K26/362(2014.01)

B23K26/70(2014.01)

权利要求书3页说明书10页附图1页

(54)发明名称

一种钙钛矿薄膜的飞秒激光刻蚀方法及系

统

(57)摘要

CN119609384A本发明公开了一种钙钛矿薄膜的飞秒激光刻蚀方法及系统，本发明涉及半导体处理技术领域，该系统包括：激光光源模块，用于产生高重复率、可调激光功率、频率和光束扩散角的飞秒激光脉冲；光学路径控制模块，配置有光学元件组、光学元件对准系统、光束整形器及自适应光学元件，用于调整激光束的路径、聚焦和能量分布；其中，所述自适应光学元件包括可调变形镜和液晶空间光调制器。该钙钛矿薄膜的飞秒激光刻蚀方法及系统，结合实时波前监测与畸变校正以及光学元件驱动系统，确保了光学路径的稳定性和一致性，解