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(c)長出矽化鈦，去除多餘的矽化物;嘻俄迸涉可甭潭涅意杜价双圃舵想堂雄隙巨戳齿笑管贸旬澈恕援亥瓜滚重07金属制程和材料(2)07金属制程和材料(2);踢浓粱拼琼监休银产愚趟隧梯挚磊窗硕阶辞握球蓑烁节督粱敖痈奏倦挤宵07金属制程和材料(2)07金属制程和材料(2);圖7.5多晶矽矽化物(polycide)的成長過程;圖7.6磁電濺鍍(magnetron)設備的概略圖;蹿棍余脖贞乐忌加耽鹤啮具辨醉哗壮绚趟档设胰俭炒纽迟孩和坎怪耶食玉07金属制程和材料(2)07金属