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纳米级超精密抛光机控制系统的研制·39·

文章编号：1000—8829(2002)07—0039—04

纳米级超精密抛光机控制系统的研制

DesignofControlSystemofUltraprecisionPlane。PolishingMachineWith

NanogradeFlatness

(浙江工业大学电气系，浙江杭州赵文宏，袁巨龙

(浙江大学自动控制系，浙江杭州邓凌

(金华市消毒灭菌器材厂设备科，浙江金华卢小慧

摘要：简述超精密加工技术现状，介绍超精密平面抛光密平面抛光机的智能控制系统的研制成功，将对超精

机的工作原理，分析达到纳米级超精密抛光的技术难密加工装备智能化和国产化，以及提高我国电子元件

点，并阐述了纳米级超精密抛光智能控制系统的实现。产品的加工水平具