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MEMS硅压阻温压复合压力传感器芯片性能指标的计算方法.pdfVIP

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  • 2026-05-27 发布于河南
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MEMS硅压阻温压复合压力传感器芯片性能指标的计算方法.pdf

    /—

    GBT475622026

    附录

    A

    ()

    规范性

    传感器芯片性能指标的计算方法

    A.1实际校准特性

    传感器芯片的实际校准特性通过传感器芯片装配成敏感器件的静态校准获得。

    ,,

    在传感器芯片的整个测量范围内设个校准点一般取点点进行次循环校准试

    mm=5~

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