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CN119987160A 一种波长特异性调控器件及其制备方法和使用该器件的激光直写光刻系统 （杭州玉之泉精密仪器有限公司）.pdfVIP

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  • 2026-05-27 发布于重庆
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CN119987160A 一种波长特异性调控器件及其制备方法和使用该器件的激光直写光刻系统 （杭州玉之泉精密仪器有限公司）.pdf

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119987160A

    (43)申请公布日2025.05.13

    (21)申请号202510338058.5(51)Int.Cl.

    G03F7/20(2006.01)

    (22)申请日2025.03.21

    (71)申请人杭州玉之泉精密仪器有限公司

    地址310030浙江省杭州市西湖区三墩镇

    振华路666号名栖首座5号楼201室

    (72)发明人请求不公布姓名请求不公布姓名

    请求不公布姓名请求不公布姓名

    请求不公布姓名请求不公布姓名

    请求不公布姓名请求不公布姓名

    请求不

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