CN119618330A 一种热式流量传感器及其制备方法 （华润微集成电路(无锡)有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119618330A

(43)申请公布日2025.03.14

(21)申请号202311179455.X

(22)申请日2023.09.12

(71)申请人华润微集成电路（无锡）有限公司

地址214135江苏省无锡市无锡太湖国际

科技园菱湖大道180号-6

(72)发明人关一浩

(74)专利代理机构上海光华专利事务所(普通合伙)31219

专利代理师李仪萍

(51)Int.Cl.

G01F1/684(2006.01)

G01F1/69(2006.01)

权利要求书2页说明书14页附图5页

(54)发明名称

一种热式流量传感器及其制备方法

(57)摘要

CN119618330A本发明提供一种热式流量传感器及其制备方法，该热式流量传感器包括衬底、隔板、测量结构、保护层、第一焊盘、第二焊盘及输出焊盘，其中，衬底中设有空腔；隔板位于衬底的上表面及空腔开口上方；测量结构位于隔板上表面且包括温敏电阻、主测温元件、加热元件及隔离层，主测温元件位于空腔上方且关于空腔垂直于Y方向的中心线对称，加热元件位于空腔上方且关于空腔垂直Y方向的中心线对称，温敏电阻位于主测温元件两侧；保护层覆盖测量结构显露上表面；第一、二焊盘及输出焊盘分别与温敏电阻、加热元件和主测温元件的两端电连接。本发明将关