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高精度光学设备的养护方案

目录

一、文档简述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．2

二、设备认知与分类．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．3

三、日常精密维系程序．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5

四、定周期深度养护措施．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

4.1中等周期维保项目规划．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．10

4.2长周期全面覆检流程．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．15

4.3核心部件的专业清洁与校准．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17

4.4精密运动部件的润滑维护与精度校验．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．18

4.5电子元器件与电路系统的稳定性检查．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．21

4.6各项性能指标的具体测试方法与判断标准．．．．．．．．．．．．．．．．．．23

4.7清点与妥善存放备份或耗材．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．26

五、专属环境管理要求．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．