原创力文档《双频等离子体加工用射频电源性能评价规范》
（征求意见稿）
编制说明
一、工作简况
（一）任务来源
本文件由中国技术市场协会提出，经中国技术市场协会标准
化工作委员会批准，正式列入2026年团体标准制修订计划，标
准名称为《双频等离子体加工用射频电源性能评价规范》。
（二）项目背景
随着半导体、精密材料、光学镀膜等高端制造产业的快速发
展，等离子体加工技术已成为不可或缺的核心工艺环节。双
《双频等离子体加工用射频电源性能评价规范》
（征求意见稿）
编制说明
一、工作简况
（一）任务来源
本文件由中国技术市场协会提出，经中国技术市场协会标准
化工作委员会批准，正式列入2026年团体标准制修订计划，标
准名称为《双频等离子体加工用射频电源性能评价规范》。
（二）项目背景
随着半导体、精密材料、光学镀膜等高端制造产业的快速发
展，等离子体加工技术已成为不可或缺的核心工艺环节。双
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