集成电路先进封测项目技术方案
目录TOC\o1-4\z\u
一、项目概述 3
二、建设目标 5
三、产品与应用定位 7
四、产能规划 9
五、技术路线选择 11
六、封装工艺方案 14
七、测试工艺方案 20
八、材料体系设计 22
九、设备配置方案 25
十、厂房工艺布局 29
十一、洁净环境控制 33
十二、公用工程配置 36
十三、自动化物流系统 43
十四、信息化管控平台 47
十五、质量管理体系 51
十六、可靠性验证体系 55
十七、良率提升措施 58
十八、能耗控制方案 61
十九、环保处
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