集成电路先进封测项目技术方案.docx

集成电路先进封测项目技术方案

目录TOC\o1-4\z\u

一、项目概述 3

二、建设目标 5

三、产品与应用定位 7

四、产能规划 9

五、技术路线选择 11

六、封装工艺方案 14

七、测试工艺方案 20

八、材料体系设计 22

九、设备配置方案 25

十、厂房工艺布局 29

十一、洁净环境控制 33

十二、公用工程配置 36

十三、自动化物流系统 43

十四、信息化管控平台 47

十五、质量管理体系 51

十六、可靠性验证体系 55

十七、良率提升措施 58

十八、能耗控制方案 61

十九、环保处

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