CN119928092A 一种控制大尺寸的碳化硅衬底面型的加工方法及加工系统 （北京天科合达半导体股份有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119928092A

(43)申请公布日2025.05.06

(21)申请号202510319398.3

(22)申请日2025.03.18

(71)申请人北京天科合达半导体股份有限公司

地址102699北京市大兴区丰远街1号院1

号楼

申请人深圳市重投天科半导体有限公司

江苏天科合达半导体有限公司

(72)发明人冉梦雨眭旭段鑫郭钰

刘春俊彭同华杨建

(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限

公司11227

专利代理师安淼

(51)Int.Cl.

B28D5/00(2006.01)

B24B1/00(