陶瓷基底薄膜热电偶的研究现状及发展趋势.pdfVIP

测控技术

2022年第41卷第3期

陶瓷基底薄膜热电偶的研究现状及发展趋势

张梅菊蔡荣富，黄漫国梁晓波-2,张仲恺彳，田边3

(1■航空工业北京长城航空测控技术研究所，北京101111；2.状态监测特种传感技术航空科技重点实验室，北京101111；

3.西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室，陕西西安710049)

摘要：随着航空发动机推重比的不断提升，发动机热端部件的工作温度也不断提高，对高温测量也提出

了更高的要求。未来航空发动机将采用陶瓷基底复合材料制造叶片，因此以陶瓷为基底的高温薄膜热

电偶成为当前的研究热点。介绍了国内外陶瓷基底高温薄膜热电偶的研究现状以及工艺参数对薄膜制

备过程的影响，并指出其存在的问题,最后对高温薄膜热电偶的发展方向进行了展望。

关键词：陶瓷基底；高温薄膜热电偶；工艺参数

中图分类号:TP212.1文献标志码:A文章编号=1000-8829(202