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2025年硅材料生产与加工手册

第1章硅材料生产与加工手册

1.1熔体精炼与铸锭技术

熔体精炼是硅单晶生长的基础，需将熔融硅中的杂质含量严格控制在ppb级别。利用石墨炉或电炉对硅锭进行高温退火处理，消除氧化硅夹杂物，使硅晶格恢复较高的结晶度；采用真空感应熔炼（VIM）技术，在真空环境下去除硅料中的碳、氧、硼等杂质，确保熔体纯净度达到$10^{-9}$量级，为后续生长提供纯净的原料基础。熔体铸锭过程涉及硅液在石英坩埚中的流动与凝固。操作时需严格控制炉温梯度，利用硅液密度随温度降低而增大的特性，通过旋转石英坩埚使液面保持水平，防止局部过冷形成气泡或枝晶；同时，需精确监控坩埚壁温度