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2026氮化镓外延片缺陷控制及衬底选择策略分析报告.docx

2026氮化镓外延片缺陷控制及衬底选择策略分析报告.docx

    2026氮化镓外延片缺陷控制及衬底选择策略分析报告

    目录

    TOC\o1-3\h\z\u摘要 3

    一、氮化镓外延片产业现状与缺陷控制战略意义 5

    1.12026年全球及中国GaN外延片市场规模与应用结构 5

    1.2衬底选择对外延缺陷密度及器件性能的决定性作用 7

    二、氮化镓外延片主流衬底材料特性对比 10

    2.1蓝宝石衬底（sapphire）的晶格失配与热膨胀系数分析 10

    2.2碳化硅衬底（SiC）的导电/导热性能与成本权衡 14

    2.3硅衬底（Si）的大尺寸兼容性与应力控制挑战 18

    三、外延生长核心工艺技术路线分析 20

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