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集成电路产业园洁净车间建设设计方案.docx

集成电路产业园洁净车间建设设计方案.docx

    集成电路产业园洁净车间建设设计方案

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、项目概述 3

    二、设计目标 4

    三、项目定位 6

    四、总体规划 7

    五、功能分区 12

    六、工艺流程 18

    七、平面布局 20

    八、物流组织 23

    九、人流组织 27

    十、环境参数 29

    十一、围护结构 30

    十二、暖通系统 33

    十三、空气处理系统 37

    十四、电气系统 41

    十五、气体供应系统 44

    十六、真空系统 48

    十七、自控系统 49

    十八、消防系统 52

    十九、防微振设计 60

    二十、静电防护 61

    二十一、材料

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