清华光电精密仪器设计课件05瞄准定位.pptVIP

瞄准定位使用高频振动进行边缘检测。振动频率为MHzHe—Ne激光经透镜3和显微物镜6聚焦在被测表面7上。标尺材料为玻璃上镀络。反射光用于检测。标尺（掩膜）沿水平移动，反射光被光电倍增管8检测，同时可以通过目镜10观测。通过乌拉斯特棱镜4产生两束正交偏振光，使在掩膜上有两个相邻的光点，距离取决于乌拉斯特棱镜的角度和位置。周期地改变入射到乌拉斯特棱镜上的光的偏振方向，可以使两个光点交替地出现在标尺上。而偏振方向的改变是通过给KDP电光调制晶体加交流电压实现的。为了防止不同偏振方向的光在分光棱镜上反射率不同，加1/4波片12使之变成圆偏振光。当两束光照在玻璃上，输出dc信号，且低电压值；当光点的一部分进入反射表面时，产生交流信号；当边缘处于光点的中心对称位置时，交流信号最大。如图a所示。该信号经带通放大如图b，解调，微分，最后提取过零信号。角度放大：小球10位移导致反射镜M2角度变化。光线多次反射后，该角度量被放大。举例：说明瞄准与测量的区别。只瞄准f=54,要测量f=180,要考虑分划板间隔的视见宽度。说明角度测量要加透镜。上图为角度位移同时测量。白光干涉是一种瞄准方法，而不是测量方法。光程差为0时才有白光干涉条纹。用声光调制器产生调制信号，增加信噪比。锁相放大器的原理处于S1时，上下两光束全反射，D1，D2探测光强相同。处于S3，上全反射，下不全反射，