CECS 621-2024 中文版 电子工业超纯水 TOC 降解系统设计规程.docxVIP

CECS621-2024中文版电子工业超纯水TOC降解系统设计规程

前言

本标准为中国工程建设标准化协会标准CECS621-2024《电子工业超纯水TOC降解系统设计规程》，由中国工程建设标准化协会正式发布，2024年11月01日起实施。本规程为国内首部针对电子工业超纯水总有机碳（TOC）管控与降解的专项设计标准，填补了行业长期存在的TOC系统无标准化设计、工艺选型混乱、微量有机物管控缺失、系统二次污染防控无依据的技术空白。

本规程编制深度对标SEMIF63半导体超纯水有机物控制规范、GB/T11446.1-2021《电子级水》、GB50747-2024《电子工业纯水系统设计规范》、CECS517-2023《高纯水处理设备选型与配置规范》，构建了“源头控污—逐级降解—终端精控—在线溯源”的全链条TOC管控技术体系。本次修订聚焦半导体先进制程、新型显示、高效光伏电池等高端电子制造场景，针对ppt/ppb级微量有机污染物超标导致的晶圆微缺陷、光刻残留、膜层不均、产品良率下降等行业核心痛点，统一TOC降解系统的工艺架构、设备参数、管路设计、自控逻辑与验收标准。

本规程立足工程实操性、制程适配性、长期稳定性与绿色低碳原则，区分不同制程等级、不同原水工况、不同生产模式的差异化TOC设计方案，杜绝行业普遍存在的“过度配置能耗偏高、配置不足水质超标、单一工艺适配所有工况”等