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SJ/T11778-2024光伏电池生产超纯水工程设计规程

前言

本文件为工业和信息化部2024年正式发布的光伏产业专用超纯水工程设计行业标准，是针对晶硅光伏电池、薄膜光伏电池、TOPCon、HJT、IBC等新型高效光伏电池生产线超纯水系统设计、建设、改造、验收的唯一性专项规程。本标准填补了国内光伏行业超纯水系统无细分专用设计规范的空白，解决行业长期存在的水质指标与光伏工艺不匹配、系统工艺选型混杂、离子残留导致电池效率衰减、TOC与颗粒管控不严、系统回收率偏低、管网二次污染、干湿制程水质混用、工程建设无统一标准等共性工程痛点。

超纯水是光伏电池生产的核心工艺介质，贯穿硅片清洗、制绒、扩散、刻蚀、镀膜、光刻、成品清洗全制程。水中微量金属离子、颗粒物、有机物、微生物残留，会直接造成光伏电池少子寿命降低、光电转换效率衰减、隐裂、色差、良率下降等品质缺陷。随着N型高效光伏电池规模化量产，行业对超纯水超低金属离子、超低TOC、超低颗粒、稳定电阻率、低溶解氧的管控要求大幅提升，传统通用电子超纯水设计方案已无法适配新一代光伏制程高精度、高良率、低损耗的生产需求。

本规程基于全国百G瓦级光伏量产基地工程实践编制，结合N型、P型光伏电池差异化用水需求，统一光伏超纯水系统分级、水质指标、工艺架构、设备选型、管网水力、洁净施工、调试验收、节水运维全套技术体系。本文件全面对标SEMIE4.1、SE