清华光电精密仪器设计课件06标准器.pptVIP

标准器增量式旋转编码器和绝对式旋转编码器角度编码器编码器的主要误差径向光栅的方向偏差分度盘对轴承的偏心轴承径向偏差电路细分误差其它安装误差本章小结标准量与标准器光波波长标尺与度盘：主要参数，误差指标光栅尺：组成，关键技术参数码盘：特点，主要参数高精度测量标准器误差占主要部分。如仪器误差30微米，标准器误差1占0微米标准器的固定调整很重要，如旋转编码器，如何消除偏心误差。后面再讲。光波波长：用于溯源，只用于干涉仪中米定义复现的两种方法：1。利用推荐的8种稳频激光器，认为波长时准的，其他的激光器与之比较。拍频测量。现在只有波长稳定都可以作为标准2。测量平面电