长安大《测试与传感器技术》讲义第7章 电容式传感器.docxVIP

第二篇常用传感器的原理及应用

第7章电容式传感器

学习要点：

1．电容式传感器的原理及特性

2．电容式传感器的测量电路

3．电容式传感器的应用

电容式传感器是以各种类型的电容器作为传感元件，通过电容传感元件将被测量转变成电容量的变化。由于电容及其变化量均很小（pF级），因此必须借助测量电路检测出这一微小电容及增量，并将其转换成电压、电流或频率，以便于显示、记录或传输。电容式传感器的测量电路种类很多，除电桥电路、谐振电路外，还可采用运算放大器电路、调频电路和差动脉冲宽度调制电路等。

电容式传感器与电阻应变式、电感式等类型传感器相比有如下特点：

(1)动态范围大，响应快。这是因为两极板之间静电引力很小，动片质量很轻，工作频率可达数兆Hz。

(2)灵敏度高，能敏感0.01μm甚至更小的位移。

(3)可以实现非接触测量，无摩擦，不会干扰被测对象的运动状态。

(4)输出阻抗高、功率小。电容传感器的电容量很小，一般只有几至几百皮法，所以输出阻抗很高，输出信号的功率很小，为了降低输出阻抗和增大输出功率，必须采用高频电源和高倍数放大器，但会使测量系统复杂化．

(5)抗干扰能力差。由于传感器电容量很小，电缆的分布电容不容忽视，工作在高频状

态下容易产生寄生电容，为此必须采取措施提高测量精度。

根据电容式传感器的工作原理，利用极板间距δ和极板覆盖面积A的变化，可以测