西北大传感器原理与应用讲义第3章 力传感器.docxVIP

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第三章力/压力敏传感器

力/压力传感器是支撑工业过程自动化的四大传感器之一。它在我们的现实生活当中应用非常广泛。

可测对象：不仅包括力和压力，也可用于测量负荷、加速度、扭矩、位移、流量等等与机械应力有关的其他物理量，所以把这类传感器称为力学量传感器。

传统的测量力的方法是利用弹性元件的形变和位移来表示的，其特点是成本低、不需要电源，但体积大、笨重，并且输出为非电量，这一点特别不方便，因为只有转换为电量我们才能对信号进行处理。后来发现了应变计，特别是随着微电子技术发展，利用半导体材料的压阻效应和弹性与集成电路工艺，研制出了半导体力和压力传感器，使这类传感器有了长足的进步。普遍应用的