长安大《测试与传感器技术》讲义第9章 磁敏式传感器.docxVIP

第9章磁敏式传感器

学习要点：

1.掌握传感器工作原理及特性

2.掌握测量误差及补偿（霍尔元件）

3.了解传感器的应用

磁敏式传感器是利用半导体磁敏元件，通过磁电作用将磁学物理量转换成电信号的传感器。磁敏式传感器按其结构可分为体型和结型两大类，前者有霍尔元件和磁敏电阻；后者有磁敏二极管和磁敏三极管等。

一、霍尔传感器

霍尔传感器是利用霍尔效应进行检测的一种传感器。霍尔传感器通常由霍尔元件、加在元件上的激励电源、产生磁场的装置和输出电路等构成。

在图9.1.1所示的半导体薄片两端通以电流I，并在薄片的垂直方向上施加磁感应强度为B的磁场，那么，在垂直于电流和磁场的方向上将产生电势UH（称为霍尔电动势或霍尔电压），这种现象称为霍尔效应。

图9.1.1霍尔效应

霍尔电压可表示为UH=KHIB，KH称为霍尔元件的灵敏度，它表征在单位磁感应强度和单位激励电流作用下的空载霍尔电势值。霍尔元件的灵敏度与半导体材料的性质和几何尺寸有关。

霍尔元件的材料要求有高的电阻率和载流子迁移率。通常金属材料具有很高的载流子迁移率，但其电阻率很小；绝缘材料的电阻率极高，但是其载流子迁移率极低；只有半导体材料最适合制造霍尔元件。

霍尔元件在实际应用时，存在多种因素影响其测量精度。造成测量误差的主要因素有两类：半导体制造工艺的缺陷和半导体的固有特性，其主要表现为不等位电势误差和温度误