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论文第二章:封端硅烷分子结构对BCB-LPS的结构和性能的影响研究

工作一：合成双甲氧基单体及单甲氧基单体需要重新合成（两个单体）

工作二：不同转速下BCB-LPS的制备：利用三种不同的封端剂封端（乙烯基二甲基氯硅烷、三甲基氯硅烷、单甲氧基二甲基乙烯基BCB硅烷）需要重新合成九个样（时间来不及就挑选转速300做三个封端）

本体聚合根据文献（低介电线型聚硅氧烷封装光刻胶的制备及图案化研究）170摄氏度下反应成半固体，不能凝胶，不然固化后就不能光刻。

原料合成：2个单体

二甲氧基甲基乙烯基BCB硅烷产物合成：3个

二甲氧基甲基乙烯基BCB硅烷

乙烯基二甲基氯硅烷二甲氧基甲基乙烯基BCB硅烷三甲基氯硅烷

乙烯基二甲基氯硅烷

二甲氧基甲基乙烯基BCB硅烷单甲氧基二甲基乙烯基BCB硅烷

光刻图案效果

工作完成情况：（excel更加清楚）

出现的问题：

通过本体预聚合成高分子光敏树脂，在预聚树脂中加入甲苯溶剂、光引发剂BAC-E（BAC-E为树脂的3wt%）配成30%固含的光刻胶。然后用旋涂、曝光、显影。用显影液（二丙二醇二甲醚：石油醚体积比7：3）显影，最后图案如下图洗不干净（红色圈是未曝光区域，应该被洗掉的）