扫描电子显微镜技术.pptxVIP

南京工葉大学

扫描电子显微镜技术

ScanningElectronMicroscope

SEM的开展

SEIM的根本知识

SEM的应

用实例

主要内容

*1965第一部商用SEM出现〔

Cambridge)

*我国1973年开始引进扫描电镜

并开始自行研发和设计

*1952年，英国工程师Charles

Oatley制造出了一台扫描电子显微镜(SEM)。

扫描电镜作为近代研究外表微观世界的一种全能电子光学仪器，

是一个浓缩了电子光学技术、真空技术、精细机械结构

以及现代计算机控制的复杂系统。

SEM的结构组成

电子光学系统

真空系统

原理：

利用电子束作为照明源，电子

束经过聚焦，变成极细〔φ5nm以下〕电子探针，在试样外表作光栅状扫描，其高能量电子与所分析试样物质相互作用，

从而产生各种信息，而这种信息的强度和分布又同试样的外表形貌、成分、晶体取向以及

集和表述试样形貌的扫描电子图像或者进行成分分析与结晶学

分析。

吸收电子

试样

透过散射电子

透射电子

真空系统

外表状态等因素有迹理通些番息，并利用计算机技术加以处理，便可以获得

电子枪

入射电子

反射电子

二次电子

俄歇电子

特征X射线

阴极荧光

初

样品

二次电子(secondaryelectrons,SE)入射电子

样品原子核