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测控技术

-50-2019年第38卷第7期智能感知与仪器仪表I

自动对焦显微镜系统设计及仿真

刘璐，闫佩正，但西佐，胡慧然，鲍思源，王永红

（合肥工业大学仪器科学与光电工程学院，安徽合肥230009）

摘要：设计了一种基于条纹投影的自动对焦显微镜系统。通过红外光源将光栅掩膜板投射到被测物表

面，用于对焦判断。通过白光光源进行系统照明。使用带通滤光片分离出由红外光源投射的光栅像，并

由线阵CCD采集，用于离焦量和离焦方向的判断。由白光光源照射得到被测物的像，并由面阵CCD接

受用于直接观测。使用Tracepro对设计的系统进行仿真，分析得到适用于线阵CCD采集的光栅图的一

维清晰度评价函数，并使用系统对不同被测物进行仿真对焦实验与误差分析。仿真结果表明，本系统可

对不同被测物进行自动对焦。

关键词:显微镜；自动对焦；清晰度;光栅掩膜板

中图分类号:TH742；TP39