CN119890084A 一种工艺执行控制方法及半导体工艺设备 （北京北方华创微电子装备有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119890084A

(43)申请公布日2025.04.25

(21)申请号202411962866.0

(22)申请日2024.12.27

(71)申请人北京北方华创微电子装备有限公司

地址100176北京市大兴区北京经济技术

开发区文昌大道8号

(72)发明人王毅恒王文卓

(74)专利代理机构北京布瑞知识产权代理有限

公司11505

专利代理师葛美华

(51)Int.Cl.

H01L21/67(2006.01)

权利要求书2页说明书16页附图3页

(54)发明名称

一种工艺执行控制方法及半导体工艺设备