CN119381302A 蓝膜脱芯联动同步方法、装置、设备及存储介质 （芯得铭科技(深圳)有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119381302A

(43)申请公布日2025.01.28

(21)申请号202411958558.0

(22)申请日2024.12.30

(71)申请人芯得铭科技（深圳）有限公司

地址518000广东省深圳市宝安区福海街

道展城社区蚝业路59号2栋厂房702

(72)发明人温展超赖衍帆周明友

(74)专利代理机构深圳市世纪宏博知识产权代

理事务所(普通合伙)44806

专利代理师董博

(51)Int.Cl.

H01L21/67(2006.01)

H01L21/683(2006.01)

H01L21/687(2006.01)