CN119381320A 晶圆加工方法和晶圆加工装置 （华海清科股份有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119381320A

(43)申请公布日2025.01.28

(21)申请号202411959834.5

(22)申请日2024.12.30

(71)申请人华海清科股份有限公司

地址300350天津市津南区咸水沽镇聚兴

道11号

(72)发明人慈荣广马旭赵德文路新春

(51)Int.Cl.

H01L21/677(2006.01)

H01L21/683(2006.01)

H01L21/67(2006.01)

B24B7/22(2006.01)

B24B1/00(2006.01)

B24B41/00(2006.01)

B24B41/06(2012.01)