英寸先进半导体工艺研发平台环境影响评价报告书.docx

研究报告

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英寸先进半导体工艺研发平台环境影响评价报告书

一、项目概述

1.项目背景

(1)随着全球经济的快速发展，半导体产业作为信息时代的关键技术产业，其重要性日益凸显。近年来，我国半导体产业规模逐年扩大，已成为全球半导体市场的重要参与者。然而，我国半导体产业在先进工艺研发方面与发达国家相比仍存在较大差距。据统计，我国半导体产业中，90纳米以下的先进制程占比仅为5%，而国际先进水平已达到7纳米甚至更低的制程。为提升我国半导体产业的竞争力，推动产业升级，迫切需要建设先进的半导体工艺研发平台。

(2)英寸先进半导体工艺研发平台项目正是基于这样的背景应运而生。