CN119630092A 太阳电池及其掺杂方法、制备方法 （横店集团东磁股份有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119630092A

(43)申请公布日2025.03.14

(21)申请号202311168053.X

(22)申请日2023.09.11

(71)申请人横店集团东磁股份有限公司

地址322118浙江省金华市东阳市横店工

业区

(72)发明人齐利娜周永安魏乾龙

(74)专利代理机构杭州华进联浙知识产权代理

有限公司33250

专利代理师范丽霞

(51)Int.Cl.

H10F71/00(2025.01)

H10F77/1223(2025.01)

H01L21/223(2006.01)

H01L21/268(2006.01)

权利要求书3页说明书13页附图2页

(54)发明名称

太阳电池及其掺杂方法、制备方法

(57)摘要

CN119630092A本发明提供了一种太阳电池的掺杂方法、制备方法以及太阳电池。掺杂方法包括以下步骤：对氧化后的硅片进行磷扩散，以在硅片上形成磷硅玻璃层前体；对磷扩散后的硅片进行推进，以使磷硅玻璃层前体中的磷原子推进到硅片的内部；对推进后的硅片进行降温吸杂，以使磷硅玻璃层前体中的磷原子进一步推进到硅片的内部；对降温吸杂后的硅片进行再次磷扩散，以使磷硅玻璃层前体形成磷硅玻璃层；对硅片上的磷硅玻璃层的局部进行激光掺杂；去除磷硅玻璃