CN119680448A 一种大流量混气系统、方法及半导体工艺设备 （上海良薇机电工程有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119680448A

(43)申请公布日2025.03.25

(21)申请号202411993573.9

(22)申请日2024.12.31

(71)申请人上海良薇机电工程有限公司

地址201913上海市崇明区长兴镇江南大

道1333弄12号楼3层310室

(72)发明人何强军纪雪峰

(74)专利代理机构上海领誉知识产权代理有限

公司31383

专利代理师车超平

(51)Int.Cl.

B01F35/71(2022.01)

B01F35/221(2022.01)

B01F35/213(2022.01)

B01F33/80(2022.01)