CN119753823A 一种单晶硅生长系统及生长控制方法 (上海超硅半导体股份有限公司).pdfVIP

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  • 2026-06-01 发布于重庆
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CN119753823A 一种单晶硅生长系统及生长控制方法 (上海超硅半导体股份有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119753823A

(43)申请公布日2025.04.04

(21)申请号202411972251.6

(22)申请日2024.12.30

(71)申请人上海超硅半导体股份有限公司

地址201616上海市松江区鼎松路150弄1-

15号

申请人重庆超硅半导体有限公司

(72)发明人陈猛邢邦昱肖型奎梁永立

葛荣清

(74)专利代理机构北京品源专利代理有限公司

11332

专利代理师朱彩银

(51)Int.Cl.

C30B15/20(2006.01)

C30B29/06(2006.01)

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