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CN119704044A 保持环修整装置、化学机械抛光单元及其控制方法和化学机械抛光设备 （华海清科股份有限公司）.pdfVIP

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  • 2026-06-01 发布于重庆
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CN119704044A 保持环修整装置、化学机械抛光单元及其控制方法和化学机械抛光设备 （华海清科股份有限公司）.pdf

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119704044A

    (43)申请公布日2025.03.28

    (21)申请号202510148714.5B24B37/10(2012.01)

    B24B7/22(2006.01)

    (22)申请日2025.02.11

    (66)本国优先权数据

    202411981229.82024.12.31CN

    (71)申请人华海清科股份有限公司

    地址300350天津市津南区咸水沽镇聚兴

    道11号

    (72)发明人李润豪刘鑫博张洪蛟王科

    (51)Int.Cl.

    B24B37/34(2012.01)

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