CN119630975A 形成有多级接触尖端的探针片及其制作方法 （株式会社派姆特科技）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119630975A

(43)申请公布日2025.03.14

(21)申请号202380056011.9

(22)申请日2023.10.23

(30)优先权数据

10-2022-01664582022.12.02KR

(85)PCT国际申请进入国家阶段日2025.01.23

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/KR2023/0164372023.10.23

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2024/117545KO2024.06.06

(71)申请人株式会社派姆特科技地址韩国

(72)发明人曹涌镐金泰均

(74)专利代理机构北京银龙知识产权代理有限

公司11243

专利代理师许静宋海花

(51)Int.Cl.

G01R1/067(2006.01)

G01R3/00(2006.01)

C23C14/14(2006.01)

C23C14/34(2006.01)

C23C18/00(2006.01)

权利要求书1页说明书5页附图6页

(54)发明名称

形成有多级接触尖端的探针片及其制作方

法

(57)摘要

CN119630975A公开了一种形成于对半导体元件进行检测的探针卡的探针片，从而可以提高与半导体元件的焊盘相接触的接触尖端