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基于微纳加工的柔性压力传感器阵列性能研究报告

一、柔性压力传感器阵列的核心技术架构

（一）敏感材料体系构建

柔性压力传感器阵列的性能核心依赖于敏感材料的选择与改性。目前主流的敏感材料可分为三大类：碳基材料、纳米金属材料和导电聚合物。碳基材料以石墨烯、碳纳米管（CNTs）为代表，其优异的导电性和机械柔韧性使其成为研究热点。通过化学气相沉积（CVD）法制备的石墨烯薄膜，在10%的拉伸应变下仍能保持10^4S/m的电导率，且压力灵敏度可达50kPa^-1。碳纳米管则通过溶液法或喷涂法形成导电网络，当受到压力作用时，纳米管之间的接触电阻发生变化，从而实现压力感知。

纳米金属材料如金纳米线（AuNWs）、银纳米颗粒（AgNPs）具有更高的初始电导率，但其柔韧性相对较差。研究人员通过将纳米金属与弹性基底材料复合，如聚二甲基硅氧烷（PDMS），制备出兼具导电性和柔韧性的复合敏感层。例如，采用模板法制备的AuNWs/PDMS复合材料，在50%的拉伸应变下电导率保持率超过80%，压力响应范围可达0-1MPa。

导电聚合物如聚3,4-乙烯二氧噻吩：聚苯乙烯磺酸盐（PEDOT:PSS），通过溶液加工即可制备成薄膜，成本低廉且生物相容性好。但纯PEDOT:PSS的导电性和稳定性有待提高，通常通过掺杂乙二醇、DMSO等有机溶剂进行改性，改性后的电导率可从1S/cm提升至1000S/cm以上，同时在