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芯片封测制造项目超纯水制备系统方案.docx

芯片封测制造项目超纯水制备系统方案.docx

    芯片封测制造项目超纯水制备系统方案

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、项目概述 3

    二、工艺目标 5

    三、用水特征 7

    四、原水分析 8

    五、设计思路 11

    六、系统构成 13

    七、预处理单元 17

    八、反渗透单元 21

    九、电去离子单元 23

    十、精处理单元 25

    十一、储水单元 28

    十二、输配管网 30

    十三、循环控制 35

    十四、在线监测 37

    十五、微粒控制 39

    十六、微生物控制 43

    十七、金属离子控制 45

    十八、碳源控制 47

    十九、材料选型 48

    二十、设备布置 53

    二十一、

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