原创力文档芯片封测制造项目设备预防性维护方案
目录TOC\o1-4\z\u
一、总则 3
二、维护目标 8
三、适用范围 11
四、设备分类 12
五、维护原则 16
六、组织分工 18
七、人员要求 20
八、安全管理 24
九、关键设备识别 27
十、点检制度 29
十一、日常保养 31
十二、一级保养 33
十三、二级保养 35
十四、预防性检修 38
十五、备件管理 42
十六、工装治具管理 43
十七、校准管理 47
十八、润滑管理 48
十九、洁净室设备维护 51
二十、公用工程维护 53
二十
文档评论（0）