SEMI F170-0325 中文版（半导体超纯水系统废水回用与零排放设计指南）.docxVIP

SEMIF170-0325中文版（半导体超纯水系统废水回用与零排放设计指南）

前言

SEMIF170-0325是国际半导体设备与材料协会（SEMI）于2025年3月正式发布生效的半导体超纯水系统专属废水资源化与零排放顶层设计规范，是目前全球唯一针对先进晶圆制程超纯水废水分级收集、梯级回用、浓水减量、近零排放、低碳资源化的专项权威标准。本标准彻底颠覆传统工业废水“混合收集、统一处理、粗放回用”的设计模式，首次建立半导体行业分质分流、梯度利用、闭环循环、污染隔离、水质溯源的精细化资源化体系，补齐了超纯水系统全链路碳中和、水资源高效利用、制程水质风险防控的核心标准短板。

在3nm~28nm全梯度半导体量产制程中，超纯水系统连续运行会持续产生RO浓水、EDI冲洗水、UV排污、精密过滤废水、管网循环排污、设备反洗废水等多品类次生水体。此类废水区别于普通工业废水，具备“低污染、高纯度、微量弱电解质富集、无重金属毒害但有制程干扰风险”的独特属性。行业传统设计普遍存在各类废水混集混处理、高纯度废水降级使用、浓水微量硼硅累积、回用回水扰动主系统水质、回用率不稳定、固废增量大、能耗偏高等痛点，长期粗放回用会导致超纯水RO/EDI负荷抬升、弱电解质穿透、TOC基线漂移、抛光树脂寿命缩短，间接诱发晶圆电性缺陷、薄膜不均、微观颗粒污染等良率损失。

SEMIF170-0325（2025新版）针对性