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机械工程师

MECHANICALENGINEER

54圆园员9

54

圆园员9年第1期网址：电邮：hrbengineer@163.com

影响MEMS弹簧弹性系数的因素分析

施博文，吕玉山，仵珍稷

（沈阳理工大学，沈阳110159）

摘要：在MEMS执行器中，弹簧起到至关重要的作用，因此得到广泛的应用。在S型弹簧弹性系数计算公式的基础上，采用

摘要：在MEMS执行器中，弹簧起到至关重要的作用，因此得到广泛的应用。在S型弹簧弹性系数计算公式的基础上，采用LIGA技术加工出一批弹簧，用数字式显微镜对公式中主要影响因素的测量，计算出理论数值与实际值的相对误差，得出相对误差过大不满足设计要求。经过对加工特点的研究,从设计和加工的角度，提出改善方法。在此改进方法的基础上，加工出一批弹簧，通过对两批弹簧测量数据的对比分析，确定改进方法能够满足设计需求。

关键字：微弹簧；弹性系数；测量；改进方法；对比分析

中图分类号:TH161；TH135 文献标志码:A 文章编号：员园园圆原圆猿猿猿（圆园员9）01原园054原园3

（ShenyangLigongUniversity,Shenyang110159,China）

Abstract:InMEMSactuators,springsplayavital