ZL 202111623353.3-用于晶圆键合对准精度检测的装置及方法-授权.pdfVIP

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  • 2026-06-02 发布于重庆
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ZL 202111623353.3-用于晶圆键合对准精度检测的装置及方法-授权.pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN116399223B

(45)授权公告日2026.05.29

(21)申请号202111623353.3G01N21/84(2006.01)

(22)申请日2021.12

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