CN119803263A 一种减小寄生电容效应的金属膜厚测量方法 (福州大学).pdfVIP

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  • 2026-06-03 发布于重庆
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CN119803263A 一种减小寄生电容效应的金属膜厚测量方法 (福州大学).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119803263A

(43)申请公布日2025.04.11

(21)申请号202411955399.9

(22)申请日2024.12.28

(71)申请人福州大学

地址350108福建省福州市闽侯县福州大

学城乌龙江北大道2号福州大学

(72)发明人陈剑雄张文炜王成鑫黄煜华

赵光恩

(74)专利代理机构福州元创专利商标代理有限

公司35100

专利代理师郭东亮蔡学俊

(51)Int.Cl.

G01B7/06(2006.01)

权利要求书4页说明书8页附图5页

(54)发明名称

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