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硅基波导谐振器：理论剖析、实验验证与应用拓展

一、引言

1.1研究背景与意义

随着信息技术的飞速发展，数据量呈爆炸式增长，对信息传输和处理的速度、容量及能耗提出了更高要求。传统的电子芯片及其互连技术在面对大数据时代的挑战时，逐渐暴露出诸多局限性，如电子信号在传输过程中的高能耗、带宽限制以及信号串扰等问题，难以满足计算和存储系统对高速数据传输和高能效的需求。在此背景下，硅基光子学集成芯片应运而生，成为解决微电子电路瓶颈的关键潜在技术。

硅基光子学集成芯片利用硅材料在光学尺度下的特性，如高折射率、全反射和周期性结构等，实现光的传输、调制和检测等光子学现象的研究与应用。其中，硅基波导谐振器作为硅基