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电热式微执行器的折叠梁结构设计及热位移输出特性的有限元分析

摘要

电热式微执行器是微机电系统（MEMS）中实现微米级精确驱动的核心元件，其位移输出特性直接决定器件性能。本文针对传统电热执行器位移量小、线性度差的问题，设计了一种冷热臂长度差异的折叠梁结构，利用焦耳热效应产生热膨胀差，驱动悬臂梁末端输出可控位移。研究基于有限元方法，建立热-结构耦合模型，系统分析不同冷热臂长度比、驱动电压及结构参数对温度场分布和末端位移的影响规律。仿真结果表明，当冷热臂长度比为1:3时，在5V驱动电压下可获得12.8μm的稳定位移，较等长臂结构提升约40%。本文提出的折叠梁设计方法为高性能MEMS执行器的优化提供了理论依据和设计参考。

关键词：电热式微执行器；折叠梁；冷热臂长度比；有限元分析；热位移

第一章绪论

1.1研究背景

微机电系统（MEMS）技术正深刻改变着现代精密制造、生物医疗和航空航天等领域的面貌。在微型传感器、微流控芯片、光开关等器件中，微执行器作为将电能转化为机械运动的关键部件，其性能直接决定了系统的响应速度、定位精度和可靠性。随着器件集成度的不断提高，对微执行器的位移输出能力、功耗和尺寸提出了更为苛刻的要求。

当前，微型化趋势下凸显的核心矛盾在于：传统静电驱动执行器虽然响应快，但驱动力小、需要高电压；压电驱动执行器位移精度高，但行程有限且材料制备复杂。电热式微执行