CN202411745318.2-用于喷淋装置的流量控制方法、设备及介质-发明公开.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN122124936A

(43)申请公布日2026.06.02

(21)申请号202411745318.2H10P72/00(2026.01)

(22)申请日2024.11.29

(71)申请人盛美半导体设备（上海）股份有限公

司

地址201203上海市浦东新区自由贸易试

验区蔡伦路1690号第4幢

(72)发明人刘昊坤庞昊陈福平王晖

(74)专利代理机构上海专利商标事务所有限公

司31100

专利代理师杜娟

(51)Int.Cl.

B05B7/12(2006.01)

B05B7/24(2006.01)