CN202411739551.X-一种半导体处理装置及工艺-发明公开.pdfVIP

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  • 2026-06-04 发布于重庆
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CN202411739551.X-一种半导体处理装置及工艺-发明公开.pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN122138637A

(43)申请公布日2026.06.02

(21)申请号202411739551.X

(22)申请日2024.11.29

(71)申请人无锡华瑛微电子技术有限公司

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