原创力文档《集成电路电子设计自动化工具晶圆级电性参数测试数据格式》标准立项修订与发展报告T-339集成电路电子设计自动化工具晶圆级电性参数测试数据格式标准发展报告
EnglishTitle:DevelopmentReportonStandardforIntegratedCircuitElectronicDesignAutomationTools–Wafer-LevelElectricalParameterTestDataFormat
摘要
随着集成电路制造工艺向纳米级乃至更先进节点演进，晶圆级电性参数测试数据在芯片设计、工艺监控与良率提升中
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